SJ5800接觸式精密尺寸輪廓儀精度標定臺能對儀器的參數(shù)和測針針尖磨損進行修正補償,使其滿足高精度輪廓測量。對于簡單的工件只需要設置測量長度即可一鍵測量;對于復雜的工件,對工件任意位置進行分段測量,并做成模板便于輪廓批量測量。
SuperViewW快速聚焦光學三維3D輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸.
SJ5800表面粗糙度輪廓度一體測量儀超高直線度研磨級摩擦導軌、特殊紅寶石轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)提供轉(zhuǎn)動的超高靈敏度及測量精度。分辨率高達到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm,輪廓和粗糙度一體測量,無需切換模塊。
SuperViewW光學3D表面形貌儀廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖儀器螺紋輪廓測量儀可實現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動掃描,測量時測針在工件表面做仿形運動掃描(主動掃描),既保持了恒測力,又保證了大的陡坡通過能力,工件調(diào)平操作簡單,同時避免了崩針、掛針等問題??梢匀砍檀蠓秶B續(xù)掃描,擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力,非常適合大范圍陡坡表面測量,大工件無需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整,就可實現(xiàn)輕松測量。
SJ5800工件輪廓圓度接觸式測量儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量,尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測,如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數(shù)(如Ra、Rz等)、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測量。
SuperViewW材料表面光學三維形貌儀也叫白光干涉儀、光學3D表面輪廓儀。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
SuperViewW摩擦磨損三維形貌輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式測量分析劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量等。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率......
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