光刻機(jī)是集成電路生產(chǎn)的最關(guān)鍵的設(shè)備之一，在整個生產(chǎn)過程中占據(jù)重要的地位。高精度的工作臺作為光刻機(jī)核心部件之一，其運(yùn)動性能和定位精度決定了光刻工藝所能實(shí)現(xiàn)的線寬和產(chǎn)率。

光刻機(jī)的工作臺是一個六自由度的運(yùn)動臺，其中X/Y向運(yùn)動臺是最核心的基礎(chǔ)工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線性（重復(fù)）精度（Linear Positioning）的關(guān)鍵，是后續(xù)實(shí)現(xiàn)六自由度的控制的基石，是多層曝光對準(zhǔn)精度的源頭。

本次檢測一臺光刻機(jī)XY軸的角擺和直線度，部分結(jié)果如下：

Y軸Vertical Straightness測量

X軸Pitch測量

X軸測量軸長225mm，其中垂直直線度測得結(jié)果0.58μm。 

Y軸測量軸長600mm，測得角度Yaw結(jié)果0.86″。